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真空状態つくるポンプを小型化 島津製作所

島津製作所の小型ターボ分子ポンプの新製品
島津製作所の小型ターボ分子ポンプの新製品

 島津製作所は、真空状態をつくり出すターボ分子ポンプを小型化した新製品を8日に発売する。低消費電力で排気性能を高めた。質量分析計や電子顕微鏡などの精密機器メーカー向けに売り込む。

 島津製は、主に半導体製造装置向けに供給するターボ分子ポンプを手掛ける。小型機種の市場には2014年に本格参入。分析機器の小型化や多様な分析ニーズに対応し、新製品を投入することにした。

 サイズは直径9・5センチ、高さ14・9センチと従来機より一回り小さく、重さは3分の1以下の3・2キロに軽量化した。消費電力は従来比で60%減るという。

 内部のタービンが1分間に約8万7千回転し、気体を分子レベルで排出することで真空状態をつくる。価格は税別で1台70万円から。1年間に650台の販売を目指す。

【 2017年12月08日 08時50分 】

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